高纯氦气在生产中的应用实例包括：用于半导体制造过程中的气体保护，以防止氧化和污染；用于真空镀膜，以提高镀膜的质量和性能；用于光纤制造，以提高光纤的传输性能；用于激光器，以提高激光器的稳定性和精度；用于气体激光器，以提高激光器的输出功率和效率；用于，如MRI和CT，以提高设备的成像质量和精度；用于气体分析，如气体色谱分析，以提高分析的准确性和精度；用于气体检测，如气体传感器，以提高检测的灵敏度和精度；用于气体分离，如气体膜分离，以提高分离的效率和精度；用于气体储存，如高压气体储存，以提高储存的安全性和可靠性。
高纯氦气的质量检测通常通过质谱仪进行。质谱仪是一种能够测量物质质量的设备，可以地测量出氦气分子的质量。首先，将高纯氦气通过质谱仪的离子源，使其离子化。然后，离子通过磁场或电场进行分离，根据其质量的不同，离子在磁场或电场中的轨迹也会不同。，通过检测器测量离子的数量，就可以得到氦气分子的质量。通过多次测量，可以得到高纯氦气的质量分布，从而判断其纯度。
高纯氩气应存储在的储存罐中，并存放在阴凉、通风的库房里。同时要注意远离火种和热源以防止出现火花或引起；也要严禁混入一些液体如石油类二或是等来除去系统的水分以免发生意外事故。此外由于储存在压力容器中的气体因温度变化而体积膨胀,为了消除安全隐患应在常温下将氮气的瓶压机放空(但要有人看管),使高压的气体变成液态再接受使用时打开阀门即可安全方便的使用了.
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